Projekt für Lithiumbatterien und Präzisionsausrüstung für Halbleiter

I. Projektübersicht

Ein südkoreanischer Hersteller von Anlagen für neue Energien und die Halbleiterindustrie benötigte Präzisionsantriebe für Maschinen, die in der Lithium-Ionen-Batteriefertigung, der Elektrodenbeschichtung, der Waferinspektion und der Verpackungsindustrie eingesetzt werden. Die Anlagen arbeiteten in Reinraumumgebungen und erforderten Positioniergenauigkeit im Mikrometerbereich sowie einen kontinuierlichen, präzisen 24/7-Betrieb. Alle kritischen Bewegungsachsen nutzten die hochpräzisen Planetengetriebe unseres Unternehmens.

II. Projektherausforderungen

1. Bei Standardgetrieben wurde ein übermäßiges Zahnflankenspiel festgestellt; der Wechsel zwischen Vorwärts- und Rückwärtsdrehung verursachte Getriebespiel, was zu Schwankungen der Elektrodenspannung und Wafer-Ausrichtungsfehlern führte, die sich direkt auf die Ausbeute von Batteriezellen und Chips auswirkten.

2. Unter Bedingungen von schnellen, häufigen Start-Stopp-Vorgängen verursachte eine unzureichende Steifigkeit des Getriebes Mikrovibrationen, die zu winzigen Kratzern auf Folien und Wafern und einem hohen Risiko des Ausschusses hochwertiger Produkte führten.

3. Reinraumstandards begrenzen die Fettverflüchtigung und die Partikelabgabe streng; traditionelle Schmiermethoden neigten dazu, Spuren flüchtiger Verbindungen freizusetzen, was die Reinheitsklasse des Reinraums beeinträchtigte.

4. Bei längerem Präzisionsbetrieb kommt es bei Standardgetrieben zu einem deutlichen Temperaturanstieg und einer mit der Zeit abnehmenden Genauigkeit, was eine häufige Neukalibrierung der Geräte erforderlich macht.

III. Lösung

1. Ultrapräzise, spielfreie Planetengetriebe mit extrem hoher Torsionssteifigkeit eliminieren das Getriebespiel bei Richtungswechseln und stabilisieren die Elektrodenspannung sowie die Wafer-Ausrichtungsgenauigkeit.

2. Die auf geringe Vibration und geringe Wärmeentwicklung ausgelegten Herstellungsverfahren für Zahnräder unterdrückten Mikrovibrationen bei Hochgeschwindigkeitsbewegungen und verhinderten so Kratzer an Präzisionsmaterialien.

3. Spezielles, langlebiges Reinraumfett – gekennzeichnet durch geringe Flüchtigkeit und keine Partikelabgabe – erfüllte die Reinraumproduktionsstandards und gewährleistete, dass keine Kontamination von Präzisionsbauteilen auftrat.

IVDurch die optimierte Wärmeableitung wurde der Temperaturanstieg im Dauerbetrieb kontrolliert und der Genauigkeitsverlust bei Langzeitnutzung minimiert, wodurch die Notwendigkeit wiederholter Gerätekalibrierungen reduziert wurde. IV. Projektwert

1. Probleme mit Getriebespiel und Vibrationen werden vollständig behoben; die Ausbeuteraten für Lithium-Ionen-Batterien und Halbleiterprodukte steigen stetig, während die Materialkosten für High-End-Komponenten reduziert werden.

2. Das Reinraum-kompatible Design erfüllt die Reinraumstandards, wodurch der Bedarf an zusätzlichen Isolations- oder Schutzstrukturen entfällt und die Gesamtkonstruktion der Anlage vereinfacht wird.

3. Die hervorragende Temperaturanstiegskontrolle gewährleistet eine gleichbleibende Präzision bei der langfristigen, kontinuierlichen Produktion; die Häufigkeit von Gerätestillständen zur Neukalibrierung wird deutlich reduziert, wodurch die Anlagenauslastung effektiv gesteigert wird.

4. Erfüllt höchste Präzisionsstandards für die Lithium-Ionen-Batterie- und Halbleiterindustrie und unterstützt Kunden bei der Belieferung führender südkoreanischer Produktionsstätten für neue Energien und Chips sowie bei der Expansion in anspruchsvolle Überseemärkte.